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Nadim Maluf : Introduction à la microélectromécanique

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Numéro de l'objet eBay :386972209002

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ISBN: 9780890065815

Book Title: Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Book Series: Artech House Microelectromechanical Systems Library

Item Length: 9 in

Publisher: Artech House

Publication Year: 1999

Format: Hardcover

Language: English

Illustrator: Yes

Item Height: 6 in

Author: Nadim Maluf

Genre: Technology & Engineering

Topic: Electronics / Microelectronics, Electronics / Optoelectronics, Electrical

Item Width: 6 in

Item Weight: 22.3 Oz

Number of Pages: 290 Pages

À propos de ce produit

Product Information

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

Product Identifiers

Publisher

Artech House

ISBN-10

0890065810

ISBN-13

9780890065815

eBay Product ID (ePID)

1618750

Product Key Features

Book Title

Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

Author

Nadim Maluf

Format

Hardcover

Language

English

Topic

Electronics / Microelectronics, Electronics / Optoelectronics, Electrical

Book Series

Artech House Microelectromechanical Systems Library

Publication Year

1999

Illustrator

Yes

Genre

Technology & Engineering

Number of Pages

290 Pages

Dimensions

Item Length

9 in

Item Height

6 in

Item Width

6 in

Item Weight

22.3 Oz

Additional Product Features

Lc Classification Number

Tk7875.M35 2000

Table of Content

MEMS: A Technology from Lilliput. The Sandbox: Materials for MEMS. The Toolbox: Processes for Micromachining. MEM Structure and Systems in Industrial and Automotive Applications. Optical MEM Structures and Systems. MEM Structures and Systems for Medical Applications. MEM Structures and Systems for Electronic Applications. Packaging & Reliability for MEMS. Glossary.

1999

Target Audience

Trade

Lccn

99-052406

Dewey Decimal

621.381

Dewey Edition

Description de l'objet du vendeur

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Lieux exclus :

Adresses militaires ou navales, Alaska/Hawaii, Antilles néerlandaises, Barbade, Biélorussie, Comores, Dominique, Guadeloupe, Guam, Guernesey, Guyane française, Irak, Jersey, Libye, Martinique, Mayotte, Micronésie, Nioué, Nouvelle-Calédonie, Palau, Polynésie française, Porto Rico, Protectorats des États-Unis, Russie, Réunion, Sahara occidental, Saint-Pierre-et-Miquelon, Sainte-Hélène, Samoa américaines, Somalie, Svalbard et Jan Mayen, Tuvalu, Ukraine, Venezuela, Îles Cook, Îles Malouines (îles Falkland), Îles Marshall, Îles Vierges (États-Unis), Îles Vierges britanniques

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