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Sub-micron Resolution 3D Structure Writing Using TPA Process 5957

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Numéro de l'objet eBay :265448785199

Dernière mise à jour : sept. 08, 2023 16:24:36 HAEAfficher toutes les modificationsAfficher toutes les modifications

Caractéristiques de l'objet

État: Entièrement neuf: Un livre neuf, non lu, non utilisé et en parfait état, sans aucune page manquante ...

EAN: 9783836483711

ISBN: 3836483718

Gewicht: 225g

Fach: Ingenieurwissenschaften & Technik

Produktart: Lehrbuch

Format: Taschenbuch

Erscheinungsjahr: 2013

Anzahl der Seiten: 140 Seiten

Autor: Zahidur Rahim Chowdhury

Verlag: Vdm Verlag Dr. Müller E.K.

Publikationsname: Sub-Micron Resolution 3d Structure Writing Using Tpa Process

Sprache: Englisch

À propos de ce produit

Produktinformation

The two photon absorption (TPA) process is currently used to write high resolution microstructures that can be used in micro-electro-mechanical system (MEMS) and photonic crystal application. Key parameters required to predict the final structure formation for this process are experimentally determined and reported in this thesis for two commercially available resists, Ormocore and SU-8. Moreover, writing capability of 3D structures with simple features is demonstrated in this work. The TPA coefficients of resists were measured for 800 nm (wavelength) light. Light source with such wavelength, Ti:Sapphire femto-second laser, is mostly used for such application. The etch rate, another important parameter of a resist, is determined by varying the exposure dose and measuring the final thickness of the resist layer after different developing time. Mechanical stages with relatively high precision were used to scan the focused laser beam inside the resist in order to produce 3D structures. Rows and dots with different heights, square spirals and hanging beams were fabricated with different thickness by controlling the beam power and the scanning speed.

Produktkennzeichnungen

ISBN-10

3836483718

ISBN-13

9783836483711

eBay Product ID (ePID)

69655470

Produkt Hauptmerkmale

Produktart

Lehrbuch

Sprache

Englisch

Anzahl der Seiten

140 Seiten

Verlag

Vdm Verlag Dr. Müller E.K.

Publikationsname

Sub-Micron Resolution 3d Structure Writing Using Tpa Process

Autor

Zahidur Rahim Chowdhury

Format

Taschenbuch

Erscheinungsjahr

2013

Zusätzliche Produkteigenschaften

Hörbuch

Inhaltsbeschreibung

Paperback

Item Length

22cm

Item Height

8mm

Item Width

15cm

Item Weight

225g

Description de l'objet du vendeur

Informations sur le vendeur professionnel

Numéro de TVA :

DE 262837513

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Numéro de l'objet eBay :265448785199

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