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Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization by Yuzhuo Li (

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Caractéristiques de l'objet

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ISBN-13: 9780471719199

Book Title: Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization

ISBN: 9780471719199

Publication Year: 2007

Type: Textbook

Format: Hardcover

Language: English

Publication Name: Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization

Item Height: 235mm

Author: Yuzhuo Li

Publisher: John Wiley & Sons Inc

Item Width: 164mm

Subject: Physics

Item Weight: 1198g

Number of Pages: 760 Pages

À propos de ce produit

Product Information

An authoritative, systematic, and comprehensive description of current CMP technology Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the greatest degree of planarization of any known technique. The current standard for integrated circuit (IC) planarization, CMP is playing an increasingly important role in other related applications such as microelectromechanical systems (MEMS) and computer hard drive manufacturing. This reference focuses on the chemical aspects of the technology and includes contributions from the foremost experts on specific applications. After a detailed overview of the fundamentals and basic science of CMP, Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization: * Provides in-depth coverage of a wide range of state-of-the-art technologies and applications * Presents information on new designs, capabilities, and emerging technologies, including topics like CMP with nanomaterials and 3D chips * Discusses different types of CMP tools, pads for IC CMP, modeling, and the applicability of tribometrology to various aspects of CMP * Covers nanotopography, CMP performance and defect profiles, CMP waste treatment, and the chemistry and colloidal properties of the slurries used in CMP * Provides a perspective on the opportunities and challenges of the next fifteen years Complete with case studies, this is a valuable, hands-on resource for professionals, including process engineers, equipment engineers, formulation chemists, IC manufacturers, and others. With systematic organization and questions at the end of each chapter to facilitate learning, it is an ideal introduction to CMP and an excellent text for students in advanced graduate courses that cover CMP or related semiconductor manufacturing processes.

Product Identifiers

Publisher

John Wiley & Sons Inc

ISBN-13

9780471719199

eBay Product ID (ePID)

95312438

Product Key Features

Author

Yuzhuo Li

Publication Name

Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization

Format

Hardcover

Language

English

Subject

Physics

Publication Year

2007

Type

Textbook

Number of Pages

760 Pages

Dimensions

Item Height

235mm

Item Width

164mm

Item Weight

1198g

Additional Product Features

Country/Region of Manufacture

United States

Editor

Yuzhuo Li

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Numéro de TVA :

AU 82107909133
GB 293967539

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