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Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods by Nguyen Van Toa

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Numéro de l'objet eBay :134984353621

Dernière mise à jour : juin 03, 2024 20:57:26 HAEAfficher toutes les modificationsAfficher toutes les modifications

Caractéristiques de l'objet

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ISBN-13: 9780367217761

Book Title: Capacitive Silicon Resonators

ISBN: 9780367217761

Subject Area: Material Science, Mechanical Engineering, Electrical Engineering

Publication Name: Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

Publisher: Taylor & Francis Ltd

Subject: Engineering & Technology

Publication Year: 2019

Type: Textbook

Format: Hardcover

Language: English

Item Height: 235mm

Author: Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Item Width: 156mm

Item Weight: 485g

Number of Pages: 162 Pages

À propos de ce produit

Product Information

Microfabricated resonators play an essential role in a variety of applications, including mass sensing, timing reference applications, and filtering applications. Many transduction mechanisms including piezoelectric, piezoresistive, and capacitive mechanisms, have been studied to induce and detect the motion of resonators. This book is meant to introduce and suggest several technological approaches together with design considerations for performance enhancement of capacitive silicon resonators, and will be useful for those working in field of micro and nanotechnology. Features Introduces and suggests several technological approaches together with design considerations for performance enhancement of capacitive silicon resonators Provides information on the various fabrication technologies and design considerations that can be employed to improve the performance capacitive silicon resonator which is one of the promising options to replace the quartz crystal resonator. Discusses several technological approaches including hermetic packaging based on the LTCC substrate, deep reactive ion etching, neutral beam etching technology, and metal-assisted chemical etching, as well as design considerations for mechanically coupled, selective vibration of high-order mode, movable electrode structures, and piezoresistive heat engines were investigated to achieve small motional resistance, low insertion loss, and high quality factor. Focusses on a capacitive sensing method based on the measurement of the change in capacitance between a sensing electrode and the resonant body. Reviews recent progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonator, which are mainly based on the works of the authors.

Product Identifiers

Publisher

Taylor & Francis Ltd

ISBN-13

9780367217761

eBay Product ID (ePID)

27046451025

Product Key Features

Subject Area

Material Science, Mechanical Engineering, Electrical Engineering

Author

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Publication Name

Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods

Format

Hardcover

Language

English

Subject

Engineering & Technology

Publication Year

2019

Type

Textbook

Number of Pages

162 Pages

Dimensions

Item Height

235mm

Item Width

156mm

Item Weight

485g

Additional Product Features

Title_Author

Nguyen Van Toan, Takahito Ono

Country/Region of Manufacture

United Kingdom

Description de l'objet du vendeur

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Numéro de TVA :

AU 82107909133
GB 293967539

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